Sprayed Alkylphosphonic Acid as Lubricant in Air and Vacuum
1 : Université Franche-Comté, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Université Franche-Comté, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
2 : SUPMICROTECH, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
3 : SUPMICROTECH, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques