Sprayed Alkylphosphonic Acid as Lubricant in Air and Vacuum
Guillaume Colas  1@  , Mohammed-Amine Chetouani  1@  , Xavier Roizard  1@  , Jean-Marc Cote  2@  , Vincent Tissot  1@  , Margueron Samuel  3@  , Fabrice Lallemand  1@  
1 : Université Franche-Comté, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Université Franche-Comté, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
2 : SUPMICROTECH, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
3 : SUPMICROTECH, CNRS, institut FEMTO-ST, F-25000 Besançon, France
Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques

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